目前已知的氮氧化物有一氧化氮、二氧化氮、三氧化氮等，其中一氧化氮和二氧化氮排放量大，污染严重。广义的NOx是指所有的氮氧化物，但狭义来讲一般是指一氧化氮和二氧化氮。氮氧化物主要源自工业炉窑、机动车排放、化工生产等过程。

工业生产中，燃料燃烧过程中生成的NOx按照形成形式不同，分为三类：热力型氮氧化物、瞬时性氮氧化物、燃料型氮氧化物。

热力型氮氧化物是空气中氮气和高温条件下与氧气作用的结果，高温环境下氧原子撞击氮分子发生链式反应。控制氮氧化物量的两个重要因素：燃烧温度和过量空气系数。在燃料过剩情况下，随着氧气浓度升高，热力型氮氧化物生成量增大。当过量空气系数等于或是略大于1时达到峰值，但当过量空气系数继续增加时，虽然氧气浓度增大，但此时温度降低，热力型氮氧化物生成速率反而降低。

瞬时性氮氧化物实际上也是属于热力型氮氧化物的一种，不过它是生成途径有别于热力型，生成量很小，一般在氮氧化物发生量总量中约为5%。

燃料型氮氧化物的生成是和燃料中含有氮化合物有关。燃料中的有机氮不同生成氮氧化物的含量不同，天然气中氮含量接近零，煤炭和焦炭中含有1%-3%。

了解氮氧化物的生成是为了更好的治理。目前控制NOx主要的方法有：低氮燃烧技术、炉膛喷射脱硝技术、烟气脱硝技术。